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爱德华Edwards真空泵维修
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产品名称:爱德华半导体干泵EPX180L维修爱德华真空泵维修
产品描述:东莞诚合真空设备有限公司长期专业于真空泵维修保养服务,始终秉承专业务实的职业态度,拥有一支技术过硬的维修团队,完善的服务体系,为客户提供更快,更好的真空泵维修保养服务。
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爱德华EPX180高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX180使用了独特的专利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于7×10-5Torr的极限压力。

模块化EPX180基于备受赞誉、大获成功的IPX系列,可提供卓越的性能,与IPX相比,包装重量轻了20%、体积小了30%且功率降低了40%。

EPX系列主要特性和优势

1.占地面积小且重量轻一作为可用的小工具上泵之一,EPX显著节省了占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装选项。EPX可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程使用。

2.受专利保护的独特泵机构-EPX可以从大气压抽空到UHV级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

3.超清洁机构-传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX泵没有高真空轴承油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源

4.非常可靠-EPX具有大约13年的MTBFp(SEMIE10),通常每5年维修一次,大程度地延长了泵的使用寿命。

EPX系列支持清洁和轻型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点站应用。

EPX系列以极轻、极小的封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX泵采用已获专利的独特单轴再生Holweck?分级机构,能够从大气压抽空到小于7×10-7Torr的极限压力。

EPX泵能够以模块化组件提供增强的性能,既可集成到制程工具,又可以远程安装。此外,通过集成的MicroTIM电子模块还可以与制程工具轻松建立通信连接。

EPX180L/EPX180LE技术参数:

峰值速度                                   170m3h-1

                                                  105ft3min-1

                                                   2835 Imin-1

极限真空                                    <1×104mbar

                                                   <7.5x10-5Tor

                                                   <1×10-2Pa

预热时间(达到标称性能)        30分钟

入口法兰                                     ISO63

出口法兰                                     NW25

噪音                                            <59 dB(A)

水接头                                         3/8in快速

小冷却水流速                            2 lm-1

冷却水温度                                 15-35°

电源供给                                      200/208V,50/60Hz三相

极限功率                                    1.4kW

电机额定功率                             3.0kW

TIM                                            C3

重量                                           43.5kg

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东莞诚合真空设备有限公司主要从事真空泵行业,销售维修进真空泵,真空泵系统量身订制,单级旋片油式真空泵,无油活塞式真空泵,无油隔膜泵,干式罗茨真空泵,干式螺杆泵,干式爪式真空泵,涡旋真空泵,真空泵维修/保养;德国BUSCH普旭、Becker贝克、Rietschle伟力/里其乐、Leybold莱宝、pfeiffer普发,英国Edwards爱德华、法国阿尔卡特ALCATEL,日本Orion好利旺,爱发科ULVAC,卡西雅玛KASHIYAMA,荏原Ebara,美国安捷伦Agilent,泰悉尔Tuthill,寿力Sullair,台湾汉钟HANBELL,沈科仪SKY等品牌;供应真空泵配件,真空泵专用油,真空泵油雾分离器,真空泵空气过滤器,油格,风扇,真空泵叶片,旋片,碳精片服务热线15322997239。


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