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东莞诚合真空设备有限公司
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东莞诚合真空设备有限公司为您提供大量关于阿尔卡特真空泵维修,A1503H真空泵维修,等方面的信息和资料。
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阿尔卡特A1503H产品优势
A系列多级干式真空泵,结合罗茨与爪型转子吸气原理,通过多级转子的优化组合,大限度利用了多级罗茨干泵与爪型干式真空泵的优势,从而在较宽的压力范围内获得较大的实际抽速,地实现了洁净真空环境的获得。
1、高清洁度的真空环境
2、整机高可靠性
3、稳定的运转性能
4、自适应智能控制
5、工艺安全性
6、客户服务
产品原理
(真空泵维修阿尔卡特A1503H真空泵维修)多级干式真空泵采用了罗茨转子与爪型转子组合的结构,充分利用了罗茨转子在低压区抽气,爪型转子在高压区抽气的特点,同时融合了爪型转子抽气通道短,压缩气体产生热量更高的特点,其性能相对于传统单纯爪型或单纯罗茨真空泵更具优势。
应用:
集成电路、LED领域、太阳能电池,可用于装载腔、传输腔等清洁工艺过程,也可用于PVD、刻蚀,多种CVD等一般制程工艺或苛刻制程工艺过程。
其他应用:
真空镀膜系统(玻璃镀膜、精密光学等);
真空冶金(回火和退火、钢脱气,表面处理熔化,精炼,铸造和焊接等);
真空包装、食品、化工、医药、电机制造等工业蒸馏、蒸发、干燥等
阿尔卡特真空泵常见问题有;
1、真空度不足
2、漏油
3、真空泵卡死
4、燥音大
5、电机发热(真空泵温度高)