东莞诚合真空设备有限公司
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真空泵漏油、喷油是什么原因造成的?真空泵用于许多工业和科学过程中,包括复合塑料成型过程,大多数类型的电灯,真空管和CRT的生产,在该过程中,该设备可以抽真空或重新填充特定的气体或混合气体、半导体加工尤其是离子注入,干法蚀刻和PVD、ALD、PECVD和CVD沉积等在光刻、电子显微镜,需要抽吸的医学过程,铀浓缩,医学应用(例如放射治疗、放射外科和放射药学)中,分析仪器,用于分析气体、液体、固体、表面和生物材料;质谱仪可在离子源和检测器之间产生高真空;一般真空泵不会出现漏油、喷油的情况,一旦出现了,那么一定是因为什么原因导致的,那么造成的原因是什么呢?
(1)转轴、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈损坏或装配不对。要认真查看并更换玻损的密封圈,装配螺时,用力要均匀。
(2)因前后端面不平整或端板没有压紧,造成端面漏油。要将端面修平并压紧前后端板。
(3)进气口压强过高。要设法减少进气量。
(4)真空泵箱体有漏孔。要查看谓孔部位并堵死。
(5)油量过多产生喷油,要放出多余的油。
(6)排气盖下面的挡油网装反引起喷油,要重新装挡油网。
(7)突然暴露大气引起喷油。要马上关掉低真空阀。