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爱发科NRL180A干式螺杆真空泵一般用于排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等），排出非活性气体行业对泵的腐蚀性很大，大多数真空泵都是因为腐蚀后转数慢，影响到生产效率，需要专业的厂家维修，东莞诚合真空承接爱发科NRL180A干式螺杆真空泵维修。

 针对真空泵腐蚀的修复方法：

彻底清除表面氧化层，用丙酮将表面清洗干净。喷砂、打磨、涂防腐蚀涂层保护，专业的安装方式完工。

 爱发科NRL系列在低温领域下的均热化，除PVD工艺外，龙其适用于希望提高流量，缩短非气时间的重要工艺腔体的排气。

 爱发科真空泵NRL180A特点：

 低噪音、低振动、超强的耐腐蚀性。

 标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对府蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。

 随泵配送选购件：

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

 适用于行业：

 活性气体（CVD/刻蚀等）

 排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）

 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单品炉等）

 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）

 冷冻干燥等水蒸气排气。

爱发科干泵产品特性/Product characteristics

.LS系列：

同时具有高速排气和低消耗电力特点的干泵。有4个机种可供选择，根据设备的大小、使用条件等可选择条件适合的排气量干泵。.CR系列：

CR系列VerB为取得国际标准的空冷式工具型干泵。由于排气室中不使用油，转子和圆筒为非接触运转，可长时间稳定运转。

GR系列是基于拥有大量实绩和信赖性的LR/HR系列，面向一般产业设计的构造较为简单的干泵。

·LR/HR/UR系列（东莞诚合真空设备提供爱发科真空泵维修ULVAC爱发科干泵维修，各种真空解决方案）

LR/HR/UR系列采用独自开发的高温均热化技术，有效利用压缩热，实现了在CVD、刻蚀等的硬件工艺的高耐久性。在产线工艺上，和ECO-SHOCK一起使用，可实现降低大80%的消耗电力。此外，高维修性能和低噪音，可对应全机种CE(可选项）。可进一步了解ECO-SHOCK详细情况。

·干泵节能适配器ECO-SHOCK ES10（东莞诚合真空设备提供爱发科真空泵维修ULVAC爱发科干泵罗茨泵维修，各种真空解决方案）

ECO-SHOCK适配器配合选择使用的干泵，可实现大幅度节省电力能源。

·干泵节能适配器ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK是一种配合干泵使用可实现大幅降低消耗电能的适配器。

ES4A需要在装载室频繁取出放入的情况下，或者像涡轮分子泵那样达到压力需要长时间运转的前级干泵的电能削减是合适的。