Edwards爱德华EDC150爪式真空泵的结构特点

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英国的爱德华公司生产了一种将罗茨转子与爪型转子相组合的一种干式真空泵。它利用了在低压下罗茨泵抽气比较有效，在较高压强下爪型干式真空泵抽气比较有效的特点，将这两种泵各自的优势匹配起来，组成干式真空泵，其结果性能比较优良。这种泵第一次以最低的运行成本和维护费用真正实现了干式的爪型干式真空泵特别适用于真空度达1Pa,含水分和硬质腐蚀颗粒的半导体芯片、光学通讯设备及平板显示器等高科技行业的苛刻工艺流程。在众多的干式真空泵中，爪型干式真空泵是备受半导体、光学器件等高科技行业青昧的一种容积式干式真空泵。

Edwards EDO系列爪式压缩机与真空泵和旋片泵及旋转凸轮泵非常相似，都是基于静态压缩系统。和旋转凸泵不同的是，EDC系列是通过内部容积收缩实现压缩。

爪型泵所用电机转速转高，一般在1500r/min或3000r/min左右。泵在运转时，高温气体在泵腔中产生高速的内流动，这对于可能会产生潜在污染的场合是很理想的当抽除腐蚀性和潮湿的蒸汽的时候，泵体内部形成的高温高速的内流动气流会阻止气体腐蚀泵体；而且，泵的高温可以阻止室温下易凝结的气体在泵内凝结。带有冷却装置的爪型干式真空泵可以安全地抽除易燃易爆和对温度敏感的气体。

爪式泵包括两个爪子，爪子在压缩机壳体内反向无接触设转，确保间牌非常小，它们通过精密齿轮实现同步运行，当瓜移到吸人连接管和轴向吸入通道入口上面，气体将被最入到压缩室中。